진공펌프의 분류

진공 펌프는 작동 원리에 따라 분류됩니다: 가스 이송 펌프, 가변 용량 진공 펌프, 왕복 회전 날개 오일 씰 회전 날개 슬라이드 밸브 고정 날개 트로코이드 다중 챔버 회전 날개 건식 나사 액체 링 Luo 모멘텀 전달 펌프 분자 진공 펌프 견인 분자 펌프 터보 분자 펌프 복합 분자 펌프 제트 진공 펌프 액체 제트 진공 펌프 가스 제트 진공 펌프 증기 제트 진공 펌프 확산 펌프 자가 정화 확산 펌프 분별 확산 펌프 확산 제트 펌프 이온 수송 펌프 가스 트랩 펌프 흡착 펌프 게터 펌프 게터 이온 펌프 증발 이온 펌프 스퍼터링 이온 펌프 극저온 펌프 진공도로 나눈 거친 진공도 고진공도 슬라이드 밸브형 진공 펌프 로터리 베인 진공 펌프 루츠 진공 펌프 초고진공도 가스 이송 펌프

가스 이송 펌프는 펌핑 목적을 달성하기 위해 가스를 지속적으로 흡입 및 배출할 수 있는 진공 펌프입니다. 이 펌프에는 기본적으로 두 가지 유형이 있습니다.

가변 용량 진공 펌프

진공 펌프. 흡입 및 배기 과정을 완료하기 위해 펌프 챔버의 부피를 주기적으로 변경하는 방식으로 가스가 배출되기 전에 압축됩니다. 이 유형의 펌프는 왕복식과 회전 날개형의 두 가지 유형으로 구분됩니다.

(1) 왕복식 진공 펌프: 펌프 챔버의 피스톤을 사용하여 왕복 운동을 수행하여 가스를 흡입, 압축 및 배출합니다. . 따라서 피스톤 진공펌프라고도 합니다.

(2) 로터리 베인 진공 펌프: 펌프 챔버의 피스톤을 사용하여 회전하여 가스를 흡입, 압축 및 배출합니다. 회전식 진공펌프는 다음과 같은 형태가 있습니다.

① 오일밀봉식 진공펌프 : 오일을 사용하여 움직이는 부품 사이의 틈을 막아 유해한 공간을 줄이는 회전식 가변용량 진공펌프입니다. 이러한 종류의 펌프에는 일반적으로 가스 밸러스트 장치가 있으므로 가스 밸러스트 진공 펌프라고도 합니다. 구조적 특성에 따라 다음과 같은 5가지 형태로 구분된다.

로터리 베인 진공 펌프: 로터는 펌프 케이싱에 일정한 편심으로 설치되고 펌프 케이싱 내부 표면의 고정 표면에 가깝게 두 개 이상의 로터리 베인이 설치됩니다. 로터 홈. 로터가 회전할 때 로터리 베인은 방사형 홈을 따라 앞뒤로 미끄러질 수 있으며 항상 펌프 케이싱의 내벽과 접촉합니다. 이 로터리 베인은 로터와 함께 회전하며 펌프 챔버를 분할할 수 있습니다. 여러 가변 볼륨.

b. 슬라이드 밸브 진공 펌프: 슬라이드 밸브는 편심 로터 외부에 설치되어 슬라이드 밸브가 펌프 케이싱의 내벽을 따라 슬라이드 및 롤링됩니다. 슬라이드 밸브의 상단 부분은 슬라이드 밸브에서 스윙할 수 있습니다. 밸브는 가이드 레일에서 미끄러지고 펌프 챔버는 두 개의 가변 볼륨으로 나뉩니다.

c. 고정자 베인 진공 펌프: 펌프 케이싱에 펌프 내부 표면에 가까운 편심 로터가 설치되어 있으며, 펌프 케이싱에는 로터와 항상 접촉하는 방사형 슬라이딩 베인이 장착되어 있습니다. 로터가 회전하면 슬라이드가 위아래로 미끄러져 펌프 챔버를 두 개의 가변 볼륨으로 나눌 수 있습니다.

d.트로코이드 진공 펌프: 트로코이드 형태의 로터가 펌프 챔버에 편심 설치되어 펌프 챔버의 내벽을 따라 회전하며 펌프 챔버를 두 개의 가변 용량으로 나눕니다.

e. 다중 챔버 회전 날개 진공 펌프: 펌프 케이스 내에서 동일한 모터로 병렬로 구동되는 여러 개의 독립적인 작업실을 갖춘 회전 날개 진공 펌프입니다.

② 건식 스크류 진공 펌프 : 오일(또는 액체) 밀봉이 필요하지 않은 가변 용량 진공 펌프입니다.

③액봉식 진공 펌프: 여러 개의 블레이드가 있는 로터가 펌프 케이싱에 편심으로 설치되어 회전할 때 액체(보통 물이나 오일)를 펌프 케이싱에 던져서 동심원 링을 형성합니다. 펌프 케이싱은 환형 액체와 로터 블레이드가 여러 개의 작은 부피를 형성하며 그 부피는 주기적으로 변하므로 회전식 가변 부피 진공 펌프라고도 합니다.

4루츠 진공 펌프: 펌프에는 반대 방향으로 동시에 회전하는 두 개의 이중 로브 또는 다중 로브 로터가 장착되어 있습니다. 로터 사이와 로터와 펌프 케이싱의 내벽 사이에 일정한 간격이 있습니다. . 회전식 가변 용량 진공 펌프입니다. 기계식 부스터 펌프는 이러한 형태의 진공 펌프입니다.

운동량 전달 펌프: 이 유형의 펌프는 고속 회전 블레이드 또는 고속 제트를 사용하여 운동량을 가스 또는 가스 분자에 전달하므로 가스가 입구에서 출구까지 연속적으로 전달될 수 있습니다. 펌프의. 구체적으로는 다음과 같은 유형으로 나눌 수 있습니다.

(1) 분자 진공 펌프: 고속 회전하는 로터를 사용하여 가스 분자에 에너지를 전달하여 압축 및 배기하는 진공 펌프입니다.

① 견인 분자 펌프: 고속으로 움직이는 회전자와 가스 분자가 충돌하여 힘을 얻어 출구로 보내지는 운동량 전달 펌프입니다.

② 터보분자 펌프: 펌프에는 홈이 있는 디스크 또는 블레이드가 있는 로터가 장착되어 있으며 고정자 디스크(또는 고정자) 사이에서 회전합니다. 로터 원주의 선형 속도는 매우 높습니다. 이러한 유형의 펌프는 일반적으로 분자 흐름 조건에서 작동합니다.

③ 복합형 분자진공펌프 : 터빈형과 트랙션형 2가지 분자펌프를 직렬로 연결하여 구성한 복합형 분자진공펌프이다.

(2) 제트 진공 펌프 : 벤추리 효과의 압력 강하를 이용하여 고속 제트를 생성하여 가스를 출구로 운반하는 운동량 전달 펌프로 점성 유지 및 배출에 적합합니다. 전환 흐름 상태. 이러한 종류의 펌프는 세부적으로 다음과 같은 유형으로 나눌 수 있습니다.

① 액체 제트 진공 펌프: 액체(보통 물)를 작동 매체로 사용하는 제트 진공 펌프입니다.

② 가스 제트 진공 펌프: 비응축성 가스를 작동 매체로 사용하는 제트 진공 펌프입니다.

3 증기 제트 진공 펌프: 증기(물, 기름 또는 수은 증기)를 작동 매체로 사용하는 제트 진공 펌프

(3) 확산 펌프: 저압, 고속 증기 흐름(오일 또는 수은 증기) 수은 및 기타 증기)을 제트 진공 펌프의 작동 매체로 사용합니다. 가스 분자는 증기 제트로 확산되어 배출구로 보내집니다. 제트 내 가스 분자의 밀도는 항상 매우 낮으므로 이 펌프는 분자 흐름 상태에서 작동하는 데 적합합니다.

① 자가정화 확산펌프 : 펌프액 중의 휘발성 불순물을 보일러로 돌아가지 않고 특수기계를 거쳐 출구로 이송시키는 오일확산펌프의 일종

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② 분별 확산 펌프: 분별 장치를 갖춘 펌프로, 증기압이 낮은 작동 유체 증기는 노즐로 유입되어 고진공 작동을 하고, 증기압이 높은 작동 유체 증기는 노즐로 유입됩니다. 저진공 운전용 다목적 펌프입니다.

(4) 확산 제트 펌프 : 확산 펌프 특성을 갖는 단일 단 또는 다단 노즐과 제트 진공 펌프 특성을 갖는 단일 단 또는 다단 노즐로 구성된 운동량 전달 펌프입니다. 직렬로 연결됨. 오일 부스터 펌프는 이 형태에 속합니다.

(5) 이온 전달 펌프: 전자기장 또는 전기장의 작용으로 이온화된 가스를 출구로 운반하는 운동량 전달 펌프입니다.

가스 포집 펌프

이런 종류의 펌프는 가스 분자가 펌프의 내부 표면에 흡착 또는 응축되어 내부의 가스 분자 수를 줄이는 일종의 펌프입니다. 공기 추출용 진공 펌프에는 다음과 같은 유형이 있습니다.

흡착 펌프: 주로 표면이 넓은 흡착제(예: 다공성 물질)의 물리적 흡착에 의존하여 공기를 펌핑합니다.

게터 펌프: 공기를 펌핑하는 진공 펌프입니다. 화학적 결합으로 가스를 포획하는 게터. 게터는 일반적으로 벌크 또는 증착된 새 필름 형태의 금속 또는 합금입니다. 승화 펌프가 이 범주에 속합니다.

게터 이온 펌프: 전자기장 또는 전기장의 작용을 통해 이온화된 가스를 게터 재료 표면에 흡착시켜 펌핑 목적을 달성합니다. 다음과 같은 유형이 있습니다.

(1) 증발 이온 펌프: 펌프 내의 이온화된 가스가 간헐적 또는 연속적으로 승화(또는 증발)하는 흡입 물질에 흡착되어 펌프 내벽을 덮어 공기 추출을 수행합니다. . 진공 펌프.

(2) 스퍼터링 이온 펌프: 펌프 내의 이온화된 가스는 음극에서 연속적인 스퍼터링에 의해 비산되는 게터 물질에 흡착되어 공기를 펌핑하는 목적을 달성합니다.

극저온 펌프: 저온 표면을 사용하여 가스를 포집하는 진공 펌프

진공도에 따라 거친 진공, 고진공, 고진공의 세 가지 범주로 나눌 수 있습니다. 그리고 초고진공.

저진공 시스템

주로 부식성이 있고 물에 녹지 않으며 소량의 고체 입자를 포함할 수 있는 공기 및 기타 가스를 추출하는 데 사용됩니다. 이는 식품, 섬유, 제약, 화학 및 기타 산업의 진공 증발, 농축, 함침, 건조 및 기타 공정에 널리 사용됩니다. 이 유형의 펌프는 높은 진공도, 간단한 구조, 쉬운 사용, 안정적인 작동 및 쉬운 유지 관리의 특성을 가지고 있습니다.

주로 거친 진공에 사용됩니다. 공기 추출량이 많은 공정에서. 주로 밀폐된 용기에서 진공을 형성하기 위해 소량의 고체 입자를 포함하는 공기 및 기타 비부식성, 수불용성 가스를 추출하는 데 사용됩니다. 소량의 액체가 호흡된 가스와 혼합될 수 있습니다. 그것은 기계, 제약, 식품, 석유화학 및 기타 산업에서 널리 사용됩니다.

거진진공을 얻기 위한 주요 진공장비 중 하나이다. 이는 화학 산업, 식품, 건축 자재 및 기타 부서, 특히 진공 결정화, 건조, 여과, 증발 및 기타 공정에서 널리 사용됩니다.

오일프리(부식 방지) 수직왕복식 진공펌프는 수평형 진공펌프의 최신형 제품으로 거친 진공을 얻기 위한 주요 장비이다.

완전히 밀봉된 장치를 사용하여 크랭크케이스와 실린더가 완전히 격리되고 피스톤 링에 자체 윤활 재료가 사용되어 고급 오일 프리 윤활이 달성됩니다. 하수 배출이 없기 때문에 이러한 유형의 진공 펌프는 화학, 제약 및 식품 산업의 진공 증류, 진공 증발, 진공 건조, 진공 농축, 진공 함침 및 기타 공정에 특히 적합합니다.

고진공 시스템

스풀 밸브 진공 펌프

(로터리 피스톤 진공 펌프)

진공 결정 풀링 및 진공 코팅에 널리 사용됩니다. , 진공 야금, 진공 열처리, 진공 함침, 진공 건조, 진공 증류, 진공 머드 제련, 항공 우주 시뮬레이션 테스트 및 기타 신소재, 신기술, 신공정이 생산 및 개발되고 있습니다.

슬라이드 밸브 진공 펌프는 단독으로 사용하거나 루츠 진공 펌프, 오일 부스터 펌프, 오일 확산 펌프의 배압 펌프로 사용할 수 있습니다. 철금속에 부식성이 있는 가스, 진공유와 화학적으로 반응하는 가스, 다량의 증기를 함유한 가스, 다량의 분진을 함유한 가스를 펌핑하는 경우에는 추가적인 장치가 필요합니다. 장점: 로터리 베인 진공 펌프에 비해 내구성이 몇 배 더 높고 공기 펌핑 속도가 높지만 가격이 상대적으로 높습니다.

밀폐된 용기에서 가스를 추출하는 데 사용되는 기본 장비 중 하나입니다. 단독으로 사용하거나 부스터 펌프, 확산 펌프, 분자 펌프의 배압 펌프로 사용할 수 있습니다. 이러한 유형의 펌프는 야금, 기계, 전자, 화학 산업, 석유, 의학 및 기타 산업의 진공 제련, 진공 코팅, 진공 열처리, 진공 건조 및 기타 공정에 널리 사용됩니다.

로터리 베인 진공 펌프

(Sliding Vane Rotary Vacuum Pump)

콤팩트한 구조, 소형, 경량, 저소음, 저소음 등의 장점을 가지고 있습니다. 진동. 따라서 확산펌프의 배압펌프로 사용하기에 적합하며, 정밀기기 매칭 및 실험실 용도에 더욱 적합합니다. 예: 질량 분석 장비, 냉장고 조립 라인, 진공 동결 건조기 등

루츠 진공 펌프

(루츠 진공 펌프)

회전식 가변 용량형 진공 펌프로 배킹 펌프의 협조가 필요한 제품으로 사용 가능 더 넓은 영역에서 펌핑 속도가 크고 펌핑된 가스에 포함된 먼지와 수증기에 둔감합니다. 그것은 야금, 화학 산업, 식품, 전자 코팅 및 기타 산업에서 널리 사용됩니다. 주로 진공 장치의 메인 펌프로 사용되며 배압 펌프의 보조가 필요합니다. 예: 워터 링 진공 펌프, 슬라이드 밸브 진공 펌프, 수직 오일 프리 진공 펌프, 분자 진공 펌프 등 루츠 진공펌프 국내 최대 기록은 20,000L/S입니다.